样品尺寸：兼容4/6/8吋及其它尺寸
适用不同透光性的材料：Si、SiC、InP、GaN、Glass等
检测最小线宽：250nm(白光)、180nm(UV光)
具有影像自动聚焦，保持高产能
自由切换透射、反射以及独有的斜入射照射测量
晶圆CD检测
掩膜CD检测
