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Overlay套刻精度量测设备
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Overlay套刻精度量测设备

规格: 兼容4/6/8吋及其他尺寸
品牌: 奈米科学
下一个
产品详情
  • 样品尺寸:兼容4/6/8吋及其它尺寸

  • 适用不同透光性的材料:Si、SiC、InP、GaN、Glass等

  • 具有影像自动聚焦,保持高产能

  • 搭载五色滤光片,适用不同的应用场景

  • 提供不同翘曲度及厚较量测的解决方案