样品尺寸：8/12吋
具有影像自动聚焦，保持高产能
定制高分辨率UV物镜
搭载五色滤光片以及UV光，适用不同的应用场景
搭载MOS算法，满足多台阶套刻的量测需求
支持定制Cassette、FOUP、EFEM
