样品尺寸：4/6/8/12吋及特殊尺寸
检测最小缺陷 90nm
具有正面、背面宏观检测功能
具有正面微观检测功能
样品360度任意角度调整
整晶圆芯片自动拼图
具有影像自动聚焦，保持高产能
支持6物镜切换，可选：1.5X,5X,10X,20X,50X,100X,150X
实现Cassette to Cassette的全自动检测
Open cassette、SMIF、EFEM可选
