样品尺寸：4/6/8/12吋
Review最小缺陷 90nm
搭配白光和UV光
缺陷三维形貌review
支持高度量测
具有正面、背面宏观检测功能
具有正面微观检测功能
支持klarf格式导入
快速自动聚焦，可自动维持焦平面
支持5X,10X,100X,150X
Open cassette、SMIF、EFEM可选
